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真空泵機組常見(jiàn)分類(lèi)及使用注意
2025-03-19
按真空度分類(lèi) 低真空機組：工作壓強高、排氣量大，多用于真空室的粗抽以及氣體負載大、工作壓強高的場(chǎng)合，如真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空干燥、真空脫氣等裝置中。主泵常用往復式機械泵、旋轉油封機械泵、水蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵、油蒸汽噴射泵、羅茨泵等。 高真空機組：一般由羅茨泵與旋片泵等組成，可獲得較高的真空度，適用于需要較高真空環(huán)境的工藝，如真空鍍膜、真空熱處理等。 超高真空機組：工作壓強在超高真空區域（<10??Torr），能承受一定氣體負載。如分子泵機組，結構緊湊通用性強，易于操作和維護；還有低溫冷凝泵機組，由低溫冷凝泵及制冷機組成，無(wú)需另用液氦或液氮。 按工作方式分類(lèi) 干式真空泵機組：采用干式真空泵作為主泵，如干式螺桿真空泵、多級爪式泵等，能在無(wú)油或少油的環(huán)境下工作，避免了油污染問(wèn)題，適用于對真空環(huán)境要求較高、不允許有油蒸氣污染的場(chǎng)合，如半導體制造、電子工業(yè)等。 濕式真空泵機組：以水環(huán)式真空泵等濕式真空泵為主泵，工作時(shí)需要使用水或其他液體作為工作介質(zhì)，可抽除含有大量水蒸氣或有腐蝕性的氣體，廣泛應用于化工、制藥、礦山等行業(yè)。 以上內容來(lái)自于網(wǎng)絡(luò ),如有侵權聯(lián)系即刪除 |
